NEWPORT 优铂特 M-ILS200LM-S ILS-LM 系列高性能中档行程线性电机动平移台
电动线性位移台，200mm行程，线性电机，M6螺纹
M - ILS200LM - S线性电机位移台采用了坚固的设计，具有200 mm的高性能行程和低成本设计，使其成为精密工业应用的经济高效的解决方案，例如半导体晶片检查、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。它采用了一种经过FEM优化的挤压铝型材，该型材非常坚硬，最大限度地减少了铝型材和钢轨热膨胀系数不同所造成的弯曲效应。车身的刚性使负载下的挠度最小。ILS-LM采用了居中、高效的三相同步无铁芯线性电机，绝对无噪音，具有更高的速度、更高的加速度和更高的系统响应性，不会出现电机电刷或驱动螺钉磨损。循环滚珠轴承滑座具有卓越的有效载荷能力和长寿命。运动平稳，噪音低。精密位置反馈由安装在位移台上的可重复线性标尺提供。 M - ILS200LM - S的编码器信号将由Newport插值具有nm分辨率的XPS-D运动控制器，具有卓越的位置灵敏度、可重复性和稳定性。相关的驱动模块和电缆套件是必需的，必须单独购买(参见下面的附件部分)。
参数
行程范围
200 mm
最大速度
500 mm/s
最小位移增量
10 nm
连续运动力
15 N
峰值驱动力
30 N
中心负载能力
250 N
精度，典型值
±1.0 µm
精度，保证值
±2.0 µm
双向重复精度，典型值
±0.12 µm
双向重复精度，保证值
±0.30 µm
俯仰，典型值
±40 µrad
俯仰，保证值
±135 µrad
俯仰顺应性
10 µrad/Nm
偏摆，典型值
±25 µrad
偏摆，保证值
±125 µrad
偏摆顺应性
10 µrad/Nm
滚转顺应性
15 µrad/Nm
驱动方式
Linear Motor
原点重复精度
±0.1 µm
螺纹类型
M6
重量
3.7 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
最大耗电量
80 W
顺应性
RoHS 3, CE
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