NEWPORT 优铂特 IMS1000LM-S IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台
电动线性位移台，1000mm行程，线性电机，1/4-20，不带电缆
IM1000 LM - S线性位移台专为1000 mm行程范围的自支撑应用而设计。该位移台具有稳健的设计和低成本的高性能，使其成为精密工业和实验室应用的经济高效的解决方案。IMS采用FEM优化的挤压铝车身，以避免弯曲效应或负载下的变形。线性电机采用居中、高效的三相同步铁芯，线性电机作为驱动元件，提供高速、高加速度和高系统响应性。IMS系列位移台是许多精密工业应用的理想之选，例如半导体晶片检测、微电子测试和组装、DNA测序或激光加工。相关的驱动模块和电缆套件是必需的，必须单独购买(参见下面的附件部分)。
参数
行程范围
1000 mm
最大速度1
1000 mm/s
最小位移增量
20 nm
连续运动力
100 N
峰值驱动力
210 N
中心负载能力
600 N
精度，典型值
±4.0 µm
精度，保证值
±9.0 µm
双向重复精度，典型值
±0.12 µm
双向重复精度，保证值
±0.50 µm
俯仰，典型值
±112 µrad
俯仰，保证值
±225 µrad
俯仰顺应性
0.2 µrad/Nm
偏摆，典型值
±40 µrad
偏摆，保证值
±150 µrad
偏摆顺应性
1 µrad/Nm
滚转顺应性
1 µrad/Nm
驱动方式
Linear Motor
原点重复精度
±0.05 µm
螺纹类型
1/4-20
重量
28 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
最大耗电量
220 W
顺应性
RoHS 3, CE
注释:
1000 mm/s with XPS-EDBL, 500 mm/s with XPS-DRV11 / XPS-DRV02
0755-83512170 手机/微信：13249819590 QQ：2577758288 邮箱:2577758288@qq.com
