NEWPORT 优铂特 M-ILS150HA ILS 中行程铝电动线性位移台
电动线性位移台，150mm行程，直流电机，线性编码器，M6
M-ILS150HA高精度直流伺服线性位移台具有150 mm的行程范围，并在高度刚性和坚固的包装中结合了快速的亚微米分辨率运动。其带有公制螺纹孔的挤压铝制主体已经过优化，可以避免因铝制主体和钢轨的热膨胀系数不同而产生的弯曲效应。特殊的U形轮廓也为结构提供刚度，同时保持了较低的质量。预加载的无齿隙滚珠丝杠提供快速运动以及快速步进和稳定时间。螺杆的轮廓精确，可将加热降至最低，并延长位移台的使用寿命。循环滚珠轴承滑轨确保精确的直线运动，并消除在典型的直线滚珠轴承或交叉滚柱轴承上发现的滚珠保持架偏移。M-ILS150HA具有集成的线性标尺，可提供0.1 µm的分辨率反馈。上部的刚性盖防止损坏传动系统，并保护其免受灰尘、碎屑和其他污染物的影响。ILS系列位移台还具有位于行程中心的原点，用于可重复初始化，限位开关用于防止超过行程，弹性行程末端减震器用于平稳的紧急制动。
参数
行程范围
150 mm
最大速度
100 mm/s
最小位移增量
300 nm
中心负载能力
250 N
轴向负载 (+Cx)
40 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-40 N
精度，典型值
±1.2 µm
精度，保证值
±2.0 µm
单向重复精度，典型值
±0.08 µm
单向重复精度，保证值
±0.20 µm
双向重复精度，典型值
±0.15 µm
双向重复精度，保证值
±0.35 µm
俯仰，典型值
±50 µrad
俯仰，保证值
±75 µrad
俯仰顺应性
10 µrad/Nm
偏摆，典型值
±25 µrad
偏摆，保证值
±65 µrad
偏摆顺应性
10 µrad/Nm
滚转顺应性
15 µrad/Nm
驱动方式
DC Motor
反馈
Linear Encoder
原点重复精度
±0.1 µm
电缆长度
3 m
螺纹类型
M6
重量
4.8 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
最大耗电量
60 W
顺应性
RoHS 3, CE
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