NEWPORT 优铂特 M-IMS600CCHA IMS 长行程铝步进电机线性平移台
电动线性位移台，600mm行程，直流电机，线性编码器，M6
带有直流电机的M - IMS600CCHA线性位移台使用了与ILS系列相同的业内公认的技术。该位移台具有稳健的设计和低成本的高性能，使其成为精密工业和实验室应用的经济高效的解决方案。特点包括:循环滚珠轴承滑轨，提供出色的有效负载能力和长寿命；FEM优化的挤压铝制本体，以避免在负载下的弯曲效应或挠曲。预加载的无齿隙滚珠丝杠提供快速运动以及快速步进和稳定时间。集成的线性标尺提供0.1 µm的分辨率反馈，从而提高精度。这一位移台是许多精密工业应用的理想之选，如半导体晶片检测、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。
参数
行程范围
600 mm
最大速度
200 mm/s
最小位移增量
200 nm
中心负载能力
600 N
轴向负载 (+Cx)
30 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-30 N
精度，典型值
±3.5 µm
精度，保证值
±6.5 µm
单向重复精度，典型值
±0.12 µm
单向重复精度，保证值
±0.25 µm
双向重复精度，典型值
±0.20 µm
双向重复精度，保证值
±0.5 µm
俯仰，典型值
±50 µrad
俯仰，保证值
±125 µrad
俯仰顺应性
0.2 µrad/Nm
偏摆，典型值
±30 µrad
偏摆，保证值
±75 µrad
偏摆顺应性
1 µrad/Nm
滚转顺应性
1 µrad/Nm
驱动方式
DC Motor
反馈
Linear Encoder
原点重复精度
±0.1 µm
电缆长度
5 m
螺纹类型
M6
重量
22 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
最大耗电量
170 W
顺应性
RoHS 3, CE
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